微电子与半导体装备

• 离子注入机
• 扩散/氧化/退火
• CVD设备
• PVD设备
• 刻蚀设备
• 烧结热处理设备
• 激光应用设备

新能源光伏装备

热工装备（窑炉）

• 锂电池材料制造设备
• 磁性材料制造设备
• 钒氮合金材料制造设备
• 配套系统

传感器与微系统

• 敏感元件
• 压力传感器
• 温度传感器
• 微系统

电能源

• 柔性晶硅太阳电池
• 柔性晶硅太阳电池组件
• 军用能源系统

光伏电站

• 美丽乡村与光伏扶贫
• 分布式光伏电站
• 集中式光伏电站